一、电镀液,刻蚀液,清洗液

在精密制造领域,电镀液、刻蚀液和清洗液是决定产品品质、良率与生产效率的核心要素。它们如同工艺的“血液”,其性能的稳定性、配方的精准度以及应用的可靠性,直接关系到最终产品的性能表现与成本控制,致力于为客户提供卓越、稳定、定制化的电镀液、刻蚀液及清洗液整体解决方案:
尖端电镀液: 无论是功能性镀层(如耐磨、导电、焊接性)还是装饰性镀层,我们提供种类齐全、性能优异的产品系列。专注于镀层均匀性、结合力、光泽度及低内应力等关键指标,确保金属沉积过程精准可控,满足您对高可靠性、高一致性的严苛要求。
高精度刻蚀液: 针对不同基材(金属、半导体、玻璃等)及精密图形要求,我们开发出高选择性、高均匀性、低侧蚀的刻蚀配方。精准控制刻蚀速率与形貌,是实现微细线路、复杂结构及高表面质量的关键,我们助您达成工艺极限。
高效清洗液: 贯穿制程始终的清洗环节至关重要。我们提供强力去除各类污染物(油脂、颗粒、氧化物、残留药液等)的清洗方案,同时兼顾材料兼容性、低残留、环保性及操作安全。有效保障前处理质量、提升后续工艺效果并延长设备寿命。
二、显影液、剥离液

在半导体制造、先进封装、显示面板及精密线路板等高科技领域,显影与剥离是光刻工艺中决定图形精度、良率与效率的关键步骤。
我们专注于为高要求的微纳加工制程提供高性能、高可靠性的显影液与剥离液整体解决方案,助您驾驭图形化工艺的挑战:
高分辨率显影液:
精准显影: 提供优异的溶解对比度,确保光刻胶曝光区与非曝光区界限分明,实现高分辨率与精确的线宽控制 (CD Control),满足日益缩小的特征尺寸要求。
卓越均匀性: 保证在整个晶圆或面板表面获得高度均匀的显影效果,减少缺陷,提升良率。
宽工艺窗口: 对工艺参数(如温度、时间、浓度)变化具有良好宽容度,增强工艺稳定性和可重复性。
低损伤: 优化配方,最大限度减少对底层基材(如硅、金属、介质层)的侵蚀或损伤,保护器件结构完整性。
低金属离子控制: 严格控制杂质含量,尤其金属离子,满足超净工艺要求。
高效能剥离液:
强力彻底剥离: 高效去除完成使命的光刻胶(包括坚硬的烘烤后胶、离子注入后胶)以及不需要的金属残留、聚合物等,确保洁净无残留的基材表面,为后续工艺奠定基础。
高选择性: 对下方各种基材(金属导线、介电层、硅等)具有优异的选择性,在高效去除目标物质的同时,保护底层结构免受腐蚀或性能影响。
宽材料兼容性: 适用于多种类型的光刻胶(正胶、负胶、厚胶、薄胶)和不同的工艺条件(如干法刻蚀后、电镀后、离子注入后)。
工艺效率: 优化剥离速度和效果,减少处理时间,提高产线效率。
环保性与安全性: 积极开发更环保、操作更安全、VOCs排放更低的配方,响应可持续发展需求。
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